施耐德PLC170ADM35010@技术文献

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Vickers威格士VPEF40010VP12FA3TOP13AAMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，有甚者用于某一工序的各种工艺材料(化学品、特种气体等)在多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于3多个独立工序，对AMC控制指标的确定是复杂。IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1pptm间。