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L0168 L5-A11-M0225-B-S32一般来讲，系统的极限真空度比系统的工作真空度低2%，比前级泵的极限真空度低5%。被抽气体种类与抽气量?检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。真空容积检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率。选用真空泵时需要注意事项：真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。